這是一份加工技術(shù)的清單,在現(xiàn)代電子設(shè)備的整個(gè)建造過程中被多次采用;這份清單不一定意味著具體的順序。執(zhí)行這些工藝的設(shè)備是由少數(shù)幾家公司制造的。所有的設(shè)備都需要在半導(dǎo)體制造廠開工前進(jìn)行測(cè)試。[31] 這些工藝是在集成電路設(shè)計(jì)后進(jìn)行的。
晶片處理
濕法清洗
用丙酮、三氯乙烯和超純水等溶劑清洗
Piranha溶液
RCA清洗
表面鈍化
光刻技術(shù)
離子植入(將摻雜物嵌入晶圓中,形成導(dǎo)電性增加或減少的區(qū)域)
蝕刻(微細(xì)加工)
干法蝕刻(等離子體蝕刻)
反應(yīng)性離子蝕刻(RIE)
深度反應(yīng)性離子蝕刻
原子層蝕刻(ALE)
濕法蝕刻
緩沖氧化物蝕刻
等離子灰化
熱處理
快速熱退火
熔爐退火
熱氧化
化學(xué)氣相沉積(CVD)
原子層沉積(ALD)
物理氣相沉積(PVD)
分子束外延(MBE)
激光解除(用于LED生產(chǎn)[32])
電化學(xué)沉積(ECD)。見電鍍
化學(xué)-機(jī)械拋光(CMP)
晶片測(cè)試(使用自動(dòng)測(cè)試設(shè)備對(duì)電氣性能進(jìn)行驗(yàn)證,在這一步驟中還可能進(jìn)行分片和/或激光修剪)
模具準(zhǔn)備
硅通孔制造(用于三維集成電路)
晶圓安裝(使用切割膠帶將晶圓安裝在金屬框架上)。
晶圓回磨和拋光[33](對(duì)于像智能卡或PCMCIA卡這樣的薄型設(shè)備或晶圓鍵合和堆疊,減少晶圓的厚度,這也可能發(fā)生在晶圓切割過程中,稱為先切割后研磨或DBG[34][35])。
晶片粘接和堆疊(對(duì)于三維集成電路和MEMS)。
再分配層的制造(對(duì)于WLCSP封裝)。
晶圓凸起(對(duì)于倒裝芯片BGA(球柵陣列)和WLCSP封裝)。
芯片切割或晶圓切割
IC封裝
芯片附著(使用導(dǎo)電膏或芯片附著膜將芯片附著在引線框架上[36][37])
IC粘接。電線鍵合、熱聲鍵合、倒裝芯片或膠帶自動(dòng)鍵合(TAB)。
IC封裝或集成散熱器(IHS)安裝
模塑(使用特殊的模塑化合物,可能含有玻璃粉作為填充物)
烘烤
電鍍(在引線框架的銅引線上鍍上錫,使焊接更容易)。
激光打標(biāo)或絲網(wǎng)印刷
修剪和成型(將引線框架相互分離,并彎曲引線框架的引腳,以便將其安裝在印刷電路板上)。
IC測(cè)試
此外,還可以進(jìn)行諸如賴特蝕刻等步驟。